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        先進的3D蓋板數字化無掩模成像引領者

        ML-300 直接在 3D 曲面玻璃蓋板進行高精度曝光,為客戶帶來高分辨率,高效率及高良率的產品,穩定的冷卻系統,確保設備內部保持 22℃的恒溫狀態,保障了設備的穩定。成功地將集成電路用的微細工藝“負性光刻膠”工藝制造技術,運用在 3D 曲面玻璃蓋板生產上。
        此工藝制造技術,將提升 3D 曲面玻璃蓋板生產一次性良率,可高達 95%以上, 圖案更精細,色彩還原度更佳。有效改善原傳統絲印良率低、返工率高、線寬粗等弊端。

        3D 應用優勢


        無掩膜/光罩,非接觸式光刻
        高產能,高良率,低成本
        柔性生產,快速切換產品

        ·不規則曲面玻璃基板上高質量圖形轉移(<30um)
        ·z軸實時對焦結合軟件補償算法,可應對每件產品不一致性
        ·可完成2.5D/3D/4面曲/U型/環繞等曲面玻璃圖形化
        產能 良率 兼容性 打樣成品
        1200 pcs/h ≥95% 高于 所有傳統工藝 低于 所有傳統工藝

        不同BM工藝VS不同產品 線條對比

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        光罩曝光機(使用油墨上色)

        GIS-DLP(使用光阻上色)

        GIS-DLP(使用光阻上色)

        3D曝光機核心技術

        數字化成像技術

        利用TI的圖形發生器-數字微鏡器件(DMD)芯片來產生數字圖像, DMD由80萬或200萬個微鏡組成,在DMD光斑范圍內,能保證清晰和銳利的方形網點。這種最新的數字曝光系統已成為業界新標準。


        375納米激光器

        工業級別375納米耦合激光器,自主研發了激光成像系統,將375納米耦合激光器激光利用率 從傳統的30%提高至50%


        高精度光學引擎

        DLP(Digital light processing)光學系統采用UV激光光源,輸出的激光通過特種準直鏡頭實現對DMD的高均勻照明,最后通過投影鏡頭實現圖形的輸出。投影鏡頭為采用紫外特種光學材料的雙遠心鏡頭,具有低畸變,高透過率的特點。


        高精度運動平臺

        ±1μm運動控系統;運動誤差實時補償系統


        領先的智能3D玻璃蓋板全線自動化方案

        該方案是用于生產3D蓋板玻璃加工需求,適用于曲面蓋板玻璃工藝;附帶相應配合設備,包括全線配備自動上/下料機、平板/等離子清洗機、自動噴涂機、遂道式表干線、直寫式激光曝光機、顯影/清洗機、遂道式固烤線或立式烤箱等輔助設備;高分辨率,高生產率,高產量,更薄的厚度,更高的質量(外觀)低成本;3D Glass LDI適用領域:可穿戴產品,汽車產品,手機產品,家用電器行業等

        等離子清洗 3D光阻噴涂 GIS曝光 顯影 固化 成像
        玻璃表面清潔 噴涂控制單次膜厚 3μm±0.05 公差±0.05mm 低殘留顯影,控制顯影效果 立體烤箱, 溫度均衡控制 清洗后包裝覆膜 發往客戶端
        規格參數 / 型號
        GL300
        GL350
        應用領域 傳統2.5D和3D蓋板
        外觀尺寸mm(可訂制 ) 2273x1990x1771
        曝光時間CT/pcs 7.5s
        最大曝光面積(可訂制 ) 610x530mm
        可接受光刻膠厚度 1-15um (常規6um)
        額定電壓 單相 220V/50HZ 接地良好
        額定壓縮空氣壓力 0.8 Mpa
        激光輸出波長 375nm±10nm
        激光傳輸方式 光纖
        感光材料 光刻膠
        圖像解析分辨率 12700dpi
        最大功率 4KW (Laser 6w ) / 4.5KW (Laser 9w )
        輸出激光功率 6W (±3%)/ 9W (±3%)
        輸入文件格式 Gerber274X
        曝光精度 30±5μm
        產品多層套位精度
        40um
        20um
        油墨邊緣鋸齒 ≤10μm
        VA區長寬尺寸公差 ±40um
        位置偏差 ≤50um
        硬件重復精度 ±8um

        *如有規格變更恕不另行通知

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